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“全自动去磷硅玻璃（PSG）清洗设备”参数说明
| 燃料： | 电 | 类型： | 玻璃清洗干燥机 |
“全自动去磷硅玻璃（PSG）清洗设备”详细介绍
用途：对硅片扩散后表面产生的磷硅玻璃进行清洗处理
特性：
●采用高速机械臂移载传输系统，实现全自动化清洗工艺
●PLC控制系统及人机界面操作，方便参数设置及多工艺转换
●全面防腐防酸技术及人性化设计，确保人机安全
●PFA在线式加热系统
●实行全自动供排水控制
特性：
●采用高速机械臂移载传输系统，实现全自动化清洗工艺
●PLC控制系统及人机界面操作，方便参数设置及多工艺转换
●全面防腐防酸技术及人性化设计，确保人机安全
●PFA在线式加热系统
●实行全自动供排水控制
